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공정 최적화를 이끄는 ELC의 고정밀 솔루션
merit400
Pinch Valve Type LFC
Comprehensive Solutions Liquid Flow Controller
종합솔루션 Slurry용 LFC는 고품질 고정밀의 반도체 및 산업용 비접촉식 Ultrasonic Flowmeter를 적용한 LFC입니다.
주요특징 Feature
- Pinch Valve 제어 방식의 고정밀 반도체·산업용 LFC
- 접액부와 컨트롤러 일체형 구조의 1채널 LFC
- RS-485(Modbus) 통신 및 Analog In/Out 인터페이스 지원
- 반도체 CMP 공정용 Slurry의 고정밀 유량 계측 및 제어에 최적화
주요기능 Function
- 목표 유량에 대한 고정밀 유량 계측 및 제어
- Pinch Valve 제어를 통한 1.5초 이내의 고속 유량 제어
- Maintenance Program 및 RS-485 통신을 통한 최적화 Tuning 지원
- 초음파 파형 계측 및 실시간 파형 표시를 통한 유량계 상태 진단
- Current 또는 Voltage Type의 Analog I/O 지원
- 설정 조건 이탈 시 유량 계측 및 제어 상태 알람 기능 제공
변환기(AMP)구성 AMP Type
MERIT400U (고유량)
- F.S. 2,000 mL/min (200~2,000 mL/min)
- 배관 접속 규격 : 3/8 or 1/4 inch (Pillar Fitting)
MERIT400K (저유량)
- F.S. 500 mL/min (50~500 mL/min)
- 배관 접속 규격 : 1/4 inch (Pillar Fitting)
제품 사양 Product Specifications
LFC 사양(일체형)
| 구분 | 사양 |
|---|---|
| 전원 | DC+24V(±10%) |
| 소비 전력 | 4.8W (소비전류 200mA 기준) |
| 통신 규격 | RS-485(MODBUS), Analog I/O |
| 무게 및 제품 사이즈(mm) | MERIT400U : 830g / 70(W) ⅹ 230(D) ⅹ114(H) |
| MERIT400K : 1300g / 40(W) x 300(D) x 150(H) |
| 구분 | 사양 |
|---|---|
| 유체 온도(°C) | 10 ~ 90°C |
| 유체 압력(Mpa) | 0 ~ 0.35Mpa(내압 0.5Mpa) |
| 내부 방수 | IP65 |
| Tube 재질 | PFA, Gore-tex(Pinch Valve) |
| 외관 재질 | PP / FM PVC |
유량범위(Flow Range) 및 정밀도(Accuracy)
| 구분 | 500 mL | 2000 mL |
|---|---|---|
| Fluid | DIW, Silica, Ceria, W(Tungsten) 등의 혼합 연마액 | |
| 유량 범위 | 50 ~ 500 mL | 200 ~ 2000 mL |
| 최소 Unit | 1 mL/min | |
| Accuracy | 300 mL 이하: ±3ml / 300 mL 이상: ±1% | |
| 응답속도 | 2.0 Sec 이내 (설정 유량의 ±2% 이내) | |
I/O Cable 사양
| 구분 | 길이(m) | Wire Spec. | 비고 |
|---|---|---|---|
| I/O Cable | 5.0m | PVC AWG #26 |