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공정 최적화를 이끄는 ELC의 고정밀 솔루션
MERIT300
Motorized Needle Valve LFC
Comprehensive Solutions Liquid Flow Controller
종합솔루션 전동 Needle Valve LFC는 고품질 고정밀의 반도체 및 산업용 비접촉식 Ultrasonic Flowmeter를 적용한 LFC입니다.
주요특징 Feature
- 전동 Needle Valve 제어 방식의 고품질 고정밀의 반도체 및 산업용 1채널 LFC
(1채널 LFC : 접액부와 컨트롤러가 일체형으로 구성) - 반도체 공정용 약액의 유량 계측 및 제어 기능 제공
(DIW, 질산, 황산, 과산화수소, 불산, 암모니아수, SC-1, SC-2 등 약액 전반) - 전원 분리에 따른 Noise Filtering 및 EMI/RFI 차폐를 통한 제품 안전성 확보
주요기능 Function
- 목표 유량 값에 대한 유량 계측 및 제어
- Maintenance Program과 RS-485 통신을 통해 최적화 Tuning 및 다양한 응용기술 적용 가능
(초음파 파형 계측 및 파형 표시를 통해 유량계 상태 점검 가능) - Analog & Voltage Input/Output Type의 Target 유량 설정 및 출력 기능
( Analog 4~20mA, Voltage 0~10V ) - 유량 계측 및 제어 시 설정조건에 대한 상태 알림 기능 제공(측정&제어 알람)
제품 사양 Product Specifications
LFC 사양(일체형)
| 구분 | 사양 |
|---|---|
| 전원 | DC+24V(≥10%) |
| 소비 전력 | 4.8W(소비전류 200mA기준) |
| 통신 규격 | RS-485(MODBUS), Analog 1/0 |
| 제품 사이즈 | 35(W) x 201(D) x 140(H) |
| 무게 | 806g |
| 구분 | 사양 |
|---|---|
| 유체 온도(°C) | 10 ~ 90°C |
| 유체 압력(Mpa) | 0 ~ 0.35Mpa(내압 0.5Mpa) |
| 내부 방수 | IP65 |
| Tube 재질 | PFA |
| 외관 재질 | FM PVC(백색) |
유량범위(Flow Range) 및 정밀도(Accuracy)
| 구분 | 1000 mL/min | 2000 mL/min |
|---|---|---|
| Fluid | DIW, Chemical 전반 | |
| 유량 범위 | 20 ~ 1000 mL/min | 100 ~ 2000mL/min |
| 최소 Unit | 1 mL/min | |
| Accuracy | 300mL/min 미만 ±3mL, 300mL/min 이상 ±1% (R.D.) | |
| 응답속도 | 2 Sec 이내 (설정 유량의 ±2% 이내) | |
I/O Cable 사양
| 구분 | 길이(m) | Wire Spec. | 비고 |
|---|---|---|---|
| 1/0 Cable | 5.0m | PVC AWG #26 |