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공정 최적화를 이끄는 ELC의 고정밀 솔루션
merit200
Pneumatic Control LFC(AIR)
Comprehensive Solutions Liquid Flowmeter
종합솔루션 AIR TYPE LFC는 제어 밸브를 내장한 고품질, 고정밀의 반도체 및 산업용 비접촉식 LFC입니다.
주요특징 Feature
- 공압 밸브 제어 방식의 고정밀 반도체·산업용 LFC
- RS-485(Modbus) 통신을 통한 다채널 유량 모니터링 가능
- 전원 분리에 따른 Noise Filtering 및 EMC/RFI 차폐를 통한 제품 안정성 확보
- DIW 및 Chemical 전반의 계측·제어 (질산, 황산, 과산화수소, 불산, 암모니아수, SC-1 등)
- 최대 6채널 유량계 지원으로 설치 공간 최적화
주요기능 Function
- 목표 유량에 대한 고정밀 유량 계측 및 제어
- 공압 밸브 제어를 통한 고속 응답 구현 (목표 유량 도달 시간 2초 이내)
-
Maintenance Program을 통한 최적화 Tuning 및 다양한 응용 기술 지원
- 초음파 파형 계측 및 파형 표시를 통해 유량계 상태 점검 가능
변환기(AMP)구성 AMP Type
MERIT200 (기본형)
- RS-485(Modbus) 통신 지원
- 7-Segment 4-Digit Display 지원
MERIT200E (Ether CAT)
- RS-485(Modbus) 통신 지원
- Ether CAT 통신 지원
제품 사양 Product Specifications
변환기(AMP) 사양
| 구분 | 사양 |
|---|---|
| 전원 | DC+24V (±10%) |
| 온도 | 0 ~ 50℃ |
| 소비 전류 | 약 25.2W (6채널) |
| 방수 구조 | IP20 |
| 통신 규격 | RS-485 (MODBUS) |
| 제품 사이즈(mm) | 50(W) × 126(L) × 79.5(H) |
| 무게 | 293g (6채널) |
| 인증(CE) | EN 61326, 55011 |
검출기(Detector) 사양
| 구분 | 사양 |
|---|---|
| 측정 대상 | 액체 전반 |
| 유체 온도(℃) | 10 ~ 90℃ |
| 유체 압력(Mpa) | 0 ~ 0.35Mpa (내압 0.5Mpa) |
| 음파 범위 | 1000 ~ 2200m/Sec |
| 방수 구조 | IP65 |
| Body & Tube 재질 | PFA |
| 표준 튜브면적 | 1/4 inch, 3/8 inch, 1/2 inch |
| 표준 Cable 길이 | (중계) : 2M, 3M, 5M |
유량범위(Flow Range) 및 정밀도(Accuracy)
| 구분 | MERIT-200F | ||
|---|---|---|---|
| A02 (200ml/min) | A06 (600ml/min) | A20 (2500ml/min) | |
|
유량 제어 정밀도 |
– 20 ~ 300ml/min : ±3ml/min – 300 ~ 2500ml/min : Read Scale ±1% |
||
| 응답 속도 | – Target Flow Rate ±2%, 2초 이내 | ||